១. ផ្សារដែក
ដែកផ្សារគ្រប់ប្រភេទដែលមានសីតុណ្ហភាពទាបជាង 3000 ℃ អាចត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការផ្សារ W ហើយដែកផ្សារដែលមានមូលដ្ឋានលើទង់ដែង ឬប្រាក់អាចត្រូវបានប្រើសម្រាប់សមាសធាតុដែលមានសីតុណ្ហភាពទាបជាង 400 ℃; លោហៈដែលមានមូលដ្ឋានលើមាស ម៉ង់ហ្គាណែស ម៉ង់ហ្គាណែស ប៉ាឡាដ្យូម ឬលោហៈបំពេញដែលមានមូលដ្ឋានលើខួងជាធម្មតាត្រូវបានប្រើសម្រាប់សមាសធាតុដែលប្រើរវាង 400 ℃ និង 900 ℃; សម្រាប់សមាសធាតុដែលប្រើលើសពី 1000 ℃ លោហៈសុទ្ធដូចជា Nb, Ta, Ni, Pt, PD និង Mo ភាគច្រើនត្រូវបានប្រើ។ សីតុណ្ហភាពការងាររបស់សមាសធាតុដែលផ្សារជាមួយដែកផ្សារមូលដ្ឋានផ្លាទីនបានឈានដល់ 2150 ℃។ ប្រសិនបើការព្យាបាលសាយភាយ 1080 ℃ ត្រូវបានអនុវត្តបន្ទាប់ពីការផ្សារ សីតុណ្ហភាពការងារអតិបរមាអាចឈានដល់ 3038 ℃។
សំណរភាគច្រើនដែលប្រើសម្រាប់ផ្សារ w អាចត្រូវបានប្រើសម្រាប់ផ្សារ Mo ហើយសំណរដែលមានមូលដ្ឋានលើទង់ដែង ឬប្រាក់អាចត្រូវបានប្រើសម្រាប់សមាសធាតុ Mo ដែលដំណើរការក្រោម 400 ℃; សម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិច និងផ្នែកមិនមែនរចនាសម្ព័ន្ធដែលដំណើរការនៅសីតុណ្ហភាព 400 ~ 650 ℃ សំណរ Cu Ag, Au Ni, PD Ni ឬ Cu Ni អាចត្រូវបានប្រើ; លោហធាតុបំពេញដែលមានមូលដ្ឋានលើទីតានីញ៉ូម ឬលោហធាតុបំពេញសុទ្ធផ្សេងទៀតដែលមានចំណុចរលាយខ្ពស់អាចត្រូវបានប្រើសម្រាប់សមាសធាតុដែលដំណើរការនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ជាង។ គួរកត់សម្គាល់ថាលោហធាតុបំពេញដែលមានមូលដ្ឋានលើម៉ង់ហ្គាណែស កូបាល់ និងនីកែលជាទូទៅមិនត្រូវបានណែនាំដើម្បីជៀសវាងការបង្កើតសមាសធាតុអន្តរលោហៈផុយស្រួយនៅក្នុងសន្លាក់ផ្សារនោះទេ។
នៅពេលដែលសមាសធាតុ TA ឬ Nb ត្រូវបានប្រើក្រោម 1000 ℃ ការចាក់ដែលមានមូលដ្ឋានលើទង់ដែង ម៉ង់ហ្គាណែស កូបាល់ ទីតានីញ៉ូម នីកែល មាស និងប៉ាឡាដ្យូមអាចត្រូវបានជ្រើសរើស រួមទាំង Cu Au, Au Ni, PD Ni និង Pt Au_ Ni និង Cu Sn មានភាពធន់នឹង TA និង Nb ល្អ ការបង្កើតថ្នេរល្អ និងមានកម្លាំងភ្ជាប់ខ្ពស់។ ដោយសារលោហធាតុបំពេញដែលមានមូលដ្ឋានលើប្រាក់ងាយនឹងធ្វើឱ្យលោហធាតុផ្សារផុយ ពួកវាគួរតែត្រូវបានជៀសវាងតាមដែលអាចធ្វើទៅបាន។ សម្រាប់សមាសធាតុដែលប្រើរវាង 1000 ℃ និង 1300 ℃ លោហធាតុសុទ្ធ Ti, V, Zr ឬយ៉ាន់ស្ព័រដែលមានមូលដ្ឋានលើលោហធាតុទាំងនេះដែលបង្កើតជារឹង និងរាវគ្មានដែនកំណត់ជាមួយពួកវា ត្រូវតែជ្រើសរើសជាលោហធាតុបំពេញផ្សារ។ នៅពេលដែលសីតុណ្ហភាពសេវាកម្មខ្ពស់ជាងនេះ លោហធាតុបំពេញដែលមាន HF អាចត្រូវបានជ្រើសរើស។
W. សូមមើលតារាងទី 13 សម្រាប់ការផ្សារលោហៈបំពេញសម្រាប់ Mo, Ta និង Nb នៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
តារាងទី 13 លោហៈបំពេញសម្រាប់ផ្សារដែកនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់នៃលោហៈធន់នឹងភ្លើង
2. បច្ចេកវិទ្យាផ្សារដែក
មុនពេលផ្សារ វាត្រូវបានទាមទារឱ្យយកអុកស៊ីដចេញពីផ្ទៃលោហៈធន់នឹងភ្លើងដោយប្រុងប្រយ័ត្ន។ ការកិនមេកានិច ការបាញ់ខ្សាច់ ការសម្អាតដោយអ៊ុលត្រាសោន ឬការសម្អាតដោយគីមីអាចត្រូវបានប្រើ។ ការផ្សារត្រូវតែអនុវត្តភ្លាមៗបន្ទាប់ពីដំណើរការសម្អាត។
ដោយសារតែភាពផុយស្រួយពីកំណើតរបស់ W ផ្នែក w ត្រូវតែដោះស្រាយដោយប្រុងប្រយ័ត្នក្នុងប្រតិបត្តិការផ្គុំសមាសធាតុដើម្បីជៀសវាងការបាក់បែក។ ដើម្បីការពារការបង្កើតកាបូនទុងស្ទីនផុយស្រួយ ការប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់រវាង W និងក្រាហ្វីតគួរតែត្រូវបានជៀសវាង។ ការសង្កត់ជាមុនដោយសារតែដំណើរការផ្សារមុន ឬការផ្សារត្រូវតែត្រូវបានលុបចោលមុនពេលផ្សារ។ W ងាយនឹងកត់សុីនៅពេលសីតុណ្ហភាពកើនឡើង។ កម្រិតសុញ្ញากาศត្រូវតែខ្ពស់គ្រប់គ្រាន់ក្នុងអំឡុងពេលផ្សារ។ នៅពេលដែលផ្សារត្រូវបានអនុវត្តក្នុងចន្លោះសីតុណ្ហភាព 1000 ~ 1400 ℃ កម្រិតសុញ្ញากาศមិនត្រូវតិចជាង 8 × 10-3Pa ឡើយ។ ដើម្បីបង្កើនសីតុណ្ហភាពរលាយឡើងវិញ និងសីតុណ្ហភាពសេវាកម្មនៃសន្លាក់ ដំណើរការផ្សារអាចត្រូវបានផ្សំជាមួយនឹងការព្យាបាលសាយភាយបន្ទាប់ពីផ្សារ។ ឧទាហរណ៍ ផ្សារដែក b-ni68cr20si10fel ត្រូវបានប្រើដើម្បីផ្សារ W នៅ 1180 ℃។ បន្ទាប់ពីការព្យាបាលសាយភាយចំនួនបីដងគឺ 1070 ℃ /4 ម៉ោង, 1200 ℃ /3.5 ម៉ោង និង 1300 ℃ /2 ម៉ោងបន្ទាប់ពីផ្សាររួច សីតុណ្ហភាពសេវាកម្មនៃសន្លាក់ដែកអាចឡើងដល់ជាង 2200 ℃។
មេគុណពង្រីកកម្ដៅតូចគួរតែត្រូវបានយកមកពិចារណានៅពេលផ្គុំសន្លាក់ដែកដែលផ្សារដោយ Mo ហើយគម្លាតសន្លាក់គួរតែស្ថិតនៅក្នុងចន្លោះពី 0.05 ~ 0.13 មីលីម៉ែត្រ។ ប្រសិនបើប្រើគ្រឿងបរិក្ខារ សូមជ្រើសរើសសម្ភារៈដែលមានមេគុណពង្រីកកម្ដៅតូច។ ការបង្កើតគ្រីស្តាល់ឡើងវិញរបស់ Mo កើតឡើងនៅពេលដែលការផ្សារអណ្តាតភ្លើង ឡចំហាយបរិយាកាសដែលគ្រប់គ្រង ឡចំហាយសុញ្ញកាស ឡចំហាយអាំងឌុចស្យុង និងកំដៅធន់ទ្រាំលើសពីសីតុណ្ហភាពការបង្កើតគ្រីស្តាល់ឡើងវិញ ឬសីតុណ្ហភាពការបង្កើតគ្រីស្តាល់ឡើងវិញថយចុះដោយសារតែការសាយភាយនៃធាតុផ្សារ។ ដូច្នេះ នៅពេលដែលសីតុណ្ហភាពការបង្កើតគ្រីស្តាល់ជិតដល់សីតុណ្ហភាពការបង្កើតគ្រីស្តាល់ឡើងវិញ ពេលវេលាការបង្កើតគ្រីស្តាល់កាន់តែខ្លីកាន់តែល្អ។ នៅពេលផ្សារលើសពីសីតុណ្ហភាពការបង្កើតគ្រីស្តាល់ឡើងវិញរបស់ Mo ពេលវេលាការបង្កើតគ្រីស្តាល់ និងអត្រាត្រជាក់ត្រូវតែគ្រប់គ្រងដើម្បីជៀសវាងការប្រេះដែលបណ្តាលមកពីការត្រជាក់លឿនពេក។ នៅពេលប្រើការផ្សារអណ្តាតភ្លើងអុកស៊ីអាសេទីលីន វាជាការល្អបំផុតក្នុងការប្រើលំហូរចម្រុះ ពោលគឺលំហូរបូរ៉ាតឧស្សាហកម្ម ឬលំហូរការបង្កើតប្រាក់បូករួមទាំងលំហូរសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ដែលមានជាតិកាល់ស្យូមហ្វ្លុយអូរីត ដែលអាចទទួលបានការការពារល្អ។ វិធីសាស្រ្តគឺត្រូវលាបស្រទាប់លំហូរការបង្កើតប្រាក់លើផ្ទៃ Mo ជាមុនសិន ហើយបន្ទាប់មកលាបលំហូរសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ លំហូរផ្សារប្រាក់មានសកម្មភាពក្នុងជួរសីតុណ្ហភាពទាប ហើយសីតុណ្ហភាពសកម្មនៃលំហូរសីតុណ្ហភាពខ្ពស់អាចឡើងដល់ 1427 ℃។
សមាសធាតុ TA ឬ Nb គួរតែត្រូវបានផ្សារក្រោមសម្ពាធទាប ហើយកម្រិតសម្ពាធទាបមិនតិចជាង 1.33 × 10-2Pa ទេ។ ប្រសិនបើការផ្សារត្រូវបានអនុវត្តក្រោមការការពារឧស្ម័នអសកម្ម ភាពមិនបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នដូចជាកាបូនម៉ូណូអុកស៊ីត អាម៉ូញាក់ អាសូត និងកាបូនឌីអុកស៊ីត ត្រូវតែយកចេញយ៉ាងតឹងរ៉ឹង។ នៅពេលដែលការផ្សារ ឬការផ្សារធន់ត្រូវបានអនុវត្តនៅក្នុងខ្យល់ លោហៈបំពេញផ្សារពិសេស និងលំហូរសមស្របត្រូវតែប្រើ។ ដើម្បីការពារ TA ឬ Nb ពីការប៉ះជាមួយអុកស៊ីសែននៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ស្រទាប់លោហៈទង់ដែង ឬនីកែលអាចត្រូវបានស្រោបលើផ្ទៃ ហើយការព្យាបាលកំដៅសាយភាយដែលត្រូវគ្នាអាចត្រូវបានអនុវត្ត។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៣ ខែមិថុនា ឆ្នាំ ២០២២